金融界2024年12月18日消息，国家知识产权局信息显示，金华富芯微纳电子科技有限公司申请一项名为“一种流量传感器”的专利，公开号CN119124287A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明涉及一种流量传感器，包括衬底组件和薄膜组件，所述衬底组件包括衬底，所述衬底设有空腔，所述薄膜组件包括支撑层和敏感层，所述支撑层设于所述衬底厚度方向的一侧并且相互连接，所述支撑层包括正对所述空腔的悬空区，所述敏感层设于所述支撑层背离所述衬底的一侧且所述敏感层与所述悬空区接触，所述衬底组件还包括加强结构，所述加强结构设于所述空腔中且所述加强结构与所述悬空区的另一侧接触。本发明通过在支撑层的悬空区设置加强结构，提高薄膜组件的强度，抵抗薄膜组件的残余应力和热应力，防止薄膜组件在生产和使用过程中存在褶皱和破膜，提高生产良率和使用寿命。
本文源自：金融界
