金融界2024年12月18日消息，国家知识产权局信息显示，无锡华润上华科技有限公司申请一项名为“光学邻近修正方法、装置及掩膜版”的专利，公开号CN119126478A，申请日期为2023年6月。
专利摘要显示，本申请涉及一种光学邻近修正方法、装置及掩膜版。所述方法包括：从待修正的设计图形中选择第一图形，第一图形的面积小于第一预设面积；对第一图形进行第一次调整，得到第二图形，第二图形的面积不小于第一预设面积；对第二图形和除第一图形外的设计图形进行第二次调整，得到设计图形的预修正图形；从设计图形的预修正图形中选择第三图形，第三图形的面积小于第二预设面积；获取第二图形与第三图形之间不重叠的图形，不重叠的图形为偏差图形；从第二图形中选择与偏差图形有共边的第二图形作为第四图形；根据第四图形和设计图形的预修正图形得到设计图形的目标修正图形。本申请方法调整的精度更高，避免产品出现失效或可靠性降低。
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