金融界2024年12月20日消息，国家知识产权局信息显示，杭州众硅电子科技有限公司申请一项名为“联动式单动力源控制间停机构、晶圆修整机构及工作方法”的专利，公开号CN119141436A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种联动式单动力源控制间停机构、晶圆修整机构及工作方法，包括：升降单元，具有第一、第二工作位，在单个动力源的驱动下可自第一工作位活动至第二工作位；阻挡件，部分可伸入或退出升降单元的活动路径；驱动件，可沿着升降单元的活动方向移动，并可与阻挡件相抵；转动限位件，至少具有第一状态和第二状态；在升降单元自第二工作位切换至第一工作位过程中，升降单元停留在第三工作位。本发明还公开了一种晶圆修整机构，联动式单动力源控制间停机构的工作方法，晶圆修整工作方法。本发明实现修整单元在目标高度停留对抛光垫表面沟槽进行检测的目的，在完成检测后可以自动解除上述间停动作。
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