金融界2024年12月20日消息，国家知识产权局信息显示，山东天岳先进科技股份有限公司申请一项名为“一种碳化硅研磨片及无损检测研磨片研磨损伤层的方法”的专利，公开号CN119141432A，申请日期为2023年6月。
专利摘要显示，本申请公开了一种碳化硅研磨片及无损检测研磨片研磨损伤层的方法，属于碳化硅生产加工技术领域。该检测方法包括下述步骤：(1)自研磨片的表面向内延伸20‑30μm以对研磨片表层进行拉曼测试，得到研磨片表层的应力分布图；(2)将所述应力分布图划分为边长均为100μm的第一正方区域和第二正方区域，所述第一正方区域为应力值绝对值大于35MPa的区域，所述第二正方区域为应力值绝对值小于等于30MPa的区域，根据第一正方区域的占比，判断研磨片的研磨损伤层是否完全去除。本申请通过拉曼可直接对研磨片进行无损测试，从而反映研磨片研磨损伤层的大小，并且还可根据检测结果直接用于指导研磨工艺和抛光工艺的改进。
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