金融界2024年12月21日消息,国家知识产权局信息显示,广东先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种引流装置”的专利,授权公告号CN222178296U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种引流装置,其由装置外壳、分液板、通孔板以及导流板组成,其通孔板和分液板从上至下依次固定设置在装置外壳中,导流板与装置外壳的侧板下端钩状结构的挂钩卡接,该引流装置可以通过挂板设置任位置且输入端口通过导引管连接至冷却液输送管。在使用时,通过冷却液输送管输送冷却液沿导引管输入至通孔板所在层,当该层被冷却液充满后通过其开设的通孔流至下层分液板,通过分液板上更为细小的通孔进行分流完成后,经导流板将冷却液均匀且平稳地导流至晶片切割线上,从而有效减少晶片切割线因为冷却液的下滴所导致的震动,提高晶片切割的稳定性。
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