金融界2024年12月21日消息，国家知识产权局信息显示，北京华林嘉业科技有限公司申请一项名为“晶圆干燥机及其晶圆支架总成和提升机构”的专利，公开号CN119153391A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆干燥机及其晶圆支架总成和提升机构，涉及晶圆清洗设备的领域，可以解决现有技术中晶圆在清洗过程中被夹持区域无法有效清洗和干燥的问题。晶圆支架总成包括连接于干燥槽体的内底壁且用于承载多个晶圆的晶圆支架和连接于干燥槽体的内侧壁且用于配合晶圆支架限制多个晶圆的姿态的限位组件，晶圆支架包括连接于干燥槽体的支撑组件、多个连接于支撑组件的支撑梳板，支撑梳板远离支撑组件的端部沿自身长度方向开设有多个支撑槽，支撑槽形成有两个分别用于抵靠于晶圆两侧的支撑斜边，以使支撑斜边与晶圆点接触，多个支撑梳板间隔连接于支撑组件，以使多个支撑梳板沿晶圆边沿的弧形延伸方向支撑于晶圆的底侧。
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