金融界2024年12月21日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市易天自动化设备股份有限公司申请一项名为“种晶圆UV贴膜机”的专利，公开号CN119153367A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明涉及一种晶圆UV贴膜机，包括料盒组件、晶圆搬运组件、对位组件、晶圆承载组件、切膜组件、夹膜丢膜组件、贴膜组件和撕膜辅助组件；对位组件用于对晶圆进行精准矫正，晶圆承载组件用于将晶圆运送至各模组下方，切膜组件多方位对UV膜卷料切割直至与晶圆形状大小一致，贴膜组件自动施加下压力对晶圆进行贴膜，撕膜辅助组件对已贴膜晶圆的表面贴附撕膜贴。本发明提出全自动化对晶圆进行贴膜，有效提高了晶圆贴膜效率；本发明提出多个对位相机精准矫正晶圆位置，有利于提高贴膜准确率；本发明提出采用多个切膜刀对UV卷料进行多方位切割，有利于减少材料损耗，降低成本；本发明提出贴膜时施加下压力，有利于避免产生气泡，提高贴合效果。
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