苏州东微半导体申请碳化硅器件及其制造方法专利,提升器件性能

金融界 2024-12-21 22:48:00

金融界2024年12月21日消息,国家知识产权局信息显示,苏州东微半导体股份有限公司申请一项名为“碳化硅器件及其制造方法”的专利,公开号CN119153498A,申请日期为2023年6月。

专利摘要显示,本发明实施例提供的一种碳化硅器件,包括:n型碳化硅层;位于所述n型碳化硅层内的若干个栅沟槽;位于所述n型碳化硅层内且位于所述栅沟槽两侧的p型体区,所述p型体区包括第一p型体区以及位于所述第一p型体区与所述栅沟槽之间的第二p型体区,所述第二p型体区的深度小于所述第一p型体区的深度,所述栅沟槽的深度小于所述第一p型体区的深度且大于所述第二p型体区的深度;位于所述p型体内的n型源区和电流沟道区,所述电流沟道区包括水平沟道区和垂直沟道区;位于所述栅沟槽内的栅极,所述栅极延伸至两侧的所述水平沟道区之上,所述栅极通过栅极电压控制所述电流沟道区的开启和关断。

本文源自:金融界

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