金融界2024年12月21日消息,国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN119153447A,申请日期为2023年6月。
专利摘要显示,本发明实施例提供一种半导体结构及其形成方法,所述半导体结构包括:衬底;位于所述衬底上的下电极层;位于所述下电极层上的隔离层;位于所述隔离层上的上电极层;其中,所述上电极层包括多个有效电极,和与所述有效电极电连接的连接电极,所述有效电极阵列排布,所述连接电极包括单元连接电极和主连接电极,所述单元连接电极电连接所述有效电极,所述主连接电极电连接所述单元连接电极,且所述单元连接电极的宽度大于所述有效电极的宽度,所述主连接电极的宽度大于所述单元连接电极的宽度。本发明实施例能够提升电容密度,实现节约器件面积。
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