金融界2024年12月23日消息，国家知识产权局信息显示，云际芯光（珠海）微电子有限公司申请一项名为“固态装配型体声波谐振器及其制备方法”的专利，公开号CN119154833A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本申请公开了一种固态装配型体声波谐振器及其制备方法，其中，固态装配型体声波谐振器包括衬底、依次层叠于衬底上的布拉格反射结构、第一电极层、压电层和第二电极层，布拉格反射结构包括非导电反射结构和导电反射结构，非导电反射结构和导电反射结构均包括交替堆叠的高声阻抗层和低声阻抗层，非导电反射结构的高声阻抗层和低声阻抗层的材料均为非导电材料，导电反射结构的高声阻抗层和低声阻抗层中的至少一层的材料为导电材料。本申请通过在衬底和第一电极层之间设置非导电反射结构，可以有效阻止声波透过布拉格反射结构传输至衬底，由于非导电反射结构均为非导电材料，无需对其进行图案化处理，可以减少刻蚀次数，降低工艺难度。
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