金融界2024年12月25日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及其脉冲调节等离子体方法”的专利，公开号CN119170473A，申请日期为2023年6月。
专利摘要显示，本申请公开了一种半导体工艺设备及其脉冲调节等离子体方法，属于半导体工艺技术。该脉冲调节等离子体方法包括以下步骤：设置第一脉冲，以通过第一脉冲控制高频射频电源和低频射频电源进行同步开断；设置第二脉冲，以通过第二脉冲在低频射频电源的每个射频周期内依次形成多个不同的功率控制期；在不同的功率控制期，将高频射频电源的功率幅值调整为不同的功率值，以调节半导体工艺设备的等离子体。本技术方案，其可在低频射频电源的每个射频周期内，通过改变不同阶段的高频射频电源的功率幅值，形成不同的脉冲模式，以应对产品的不同刻蚀需求。
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