金融界2024年12月25日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于使用多束检查装置扫描样品的系统和方法”的专利，公开号CN119170471A，申请日期为2019年6月。
专利摘要显示，本公开涉及用于使用多束检查装置扫描样品的系统和方法。一种多束工具，包括：束配置系统，包括被配置为生成带电粒子的一次束的带电粒子源、被配置为保持样品的载物台、以及位于带电粒子源与载物台之间配置成将一次束分成束阵列的偏转器系统；其中所述束配置系统被配置为提供旋转束配置，所述旋转束配置具有基于所述束阵列的行中的束数量而确定的旋转角度。
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