金融界2024年12月26日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种工艺参数的确定方法、装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119180199A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本说明书实施方式提供了一种工艺参数的确定方法、装置及半导体工艺设备，该工艺参数的确定方法包括：响应于用户输入的目标工艺信息，将所述目标工艺信息输入至目标网络模型；所述目标工艺信息包括待确定工艺配方所能达到的工艺结果；通过所述目标网络模型预测达到所述工艺结果所需的工艺参数；所述目标网络模型包括：基于胶囊网络构建的胶囊网络层；将所述目标网络模型输出的预测结果，确定为所述待确定工艺配方的工艺参数。本申请可以快速确定能够满足工艺需求的工艺参数，节省大量时间。同时，目标网络模型包括基于胶囊网络构建的胶囊网络层，使得目标网络模型集成了胶囊网络的特性，可以提升工艺参数的准确性。
本文源自：金融界
