金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，歌尔微电子股份有限公司取得一项名为“振动传感器和电子设备”的专利，授权公告号CN222211954U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种振动传感器和电子设备。其中，振动传感器包括基板、振动组件、连接件以及芯片，振动组件设置在基板上，振动组件与基板围合形成第一腔室；连接件设置在振动组件远离基板的一侧，连接件设置有通孔；芯片包括MEMS芯片和ASIC芯片，MEMS芯片设置在连接件远离基板的一侧，ASIC芯片埋设于基板内，ASIC芯片与MEMS芯片和基板电连接，通孔连通MEMS芯片和振动组件，MEMS芯片、连接件和振动组件围合形成第二腔室。本实用新型的振动传感器可以扩大MEMS芯片的感知面积，有效提升产品性能。
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