金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市晟鼎精密仪器有限公司取得一项名为“一种等离子体均匀分布的气体分流装置”的专利，授权公告号CN222214109U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种等离子体均匀分布的气体分流装置，包括进气接头、等离子体生产室、承托板以及匀气装置，所述等离子体生产室安装于承托板上方，所述匀气装置安装于承托板下方，所述进气接头、等离子体生产室、承托板以及匀气装置依次连通，所述等离子体生产室内部设有分流块，所述分流块将进气接头进行包覆，所述匀气装置下方设有用于放置晶圆的聚拢环。
本文源自：金融界
