金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市晟鼎精密仪器有限公司取得一项名为“真空等离子反应腔装置”的专利，授权公告号CN222214112U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种真空等离子反应腔装置，通过使用绝缘框、第一电极板结构和第二电极板结构合围形成反应腔，相较传统使用铝合金腔体，能减少能耗，绝缘框替代了传统特氟龙涂层绝缘，满足客户的需求；第一电极板结构上的第一散热流道和第二电极板结构上的第二散热流道不进过真空内部，有效防止了漏水漏气风险。通过切换匹配器与第一电极板结构和所述第二电极板结构的连接方式，第一电极板结构和所述第二电极板结构可为正负极使用，从而兼容正负极切换，使用起来更加的方便。
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