金融界2025年1月2日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“预热装置及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN222233579U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种预热装置及半导体工艺设备，涉及半导体设备技术领域，为解决现有工艺槽的配液和换酸的准备过程需要大量时间，导致产率降低的问题而设计。该预热装置包括预热槽、检测组件和加热元件，预热槽设置有用于盛放工艺溶液的内腔；预热槽开设有溶液注入口和溶剂注入口；溶剂注入口的前端设置有可调流量计，可调流量计用于调节进入内腔的溶剂流量。检测组件用于检测内腔的工艺溶液的参数信息，以根据参数信息确定工艺溶液浓度值，以根据工艺溶液浓度值控制可调流量计的开度。加热元件安装于预热槽，用于加热内腔的工艺溶液。本实用新型节省了调整准备时间，提高了产率。
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