金融界2025年1月16日消息，国家知识产权局信息显示，瑞声科技（新加坡）有限公司申请一项名为“对电极结构及双膜片MEMS麦克风”的专利，公开号CN119299934A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明提供了对电极结构及双膜片MEMS麦克风。双膜片MEMS麦克风包括基体和电容系统，电容系统包括间隔设置以形成收容腔的第一电极膜片和第二电极膜片，两电极膜片在径向方向上的截面形状均为波纹状，一电极膜片的波峰和另一电极膜片的波谷连接形成支撑体，电容系统还包括悬置于收容腔内的对电极结构，对电极结构包括自内朝外间隔设置的多个周向梁以及连接于周向梁且自内朝外延伸的多个径向梁，内外相邻的两周向梁之间形成环绕对电极结构的中心延伸的过孔，支撑体穿过过孔且和过孔的边缘具有间隔。对电极结构的设置使两个电极膜片可以实现双波纹隔膜结构，对声压更为敏感，能够显著提升灵敏度性能。
本文源自：金融界
