金融界2025年1月18日消息，国家知识产权局信息显示，贝尔智慧电子科技有限公司申请一项名为“一种氮化硅刻蚀漏板的清洗系统”的专利，公开号CN119310811A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请涉及一种氮化硅刻蚀漏板的清洗系统，包括第一主体、与第一主体转动连接的第二主体、由设在第一主体内的主管道和设在第二主体内的吹扫管道组成的清洗管道、与主管道连接的等离子发生器和贯穿第一主体和第二主体的回收通道，回收通道的轴线和主管道的轴线重合且回收通道位于主管道内部多个吹扫管道围绕回收通道的轴线均匀设置，吹扫管道的第一端与主管道连通，吹扫管道的第二端向靠近回收通道的方向倾斜。本申请公开的氮化硅刻蚀漏板的清洗系统，通过对基材上区域的针对性清洗来实现复杂图案上光刻胶的完全清除，同时借助移动和气流压力调整来实现各区域的清洗参数调整，避免基材长时间暴露可能导致的结构损伤。
天眼查资料显示，贝尔智慧电子科技有限公司，成立于2004年，位于石家庄市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本5000万人民币，实缴资本1006万人民币。通过天眼查大数据分析，贝尔智慧电子科技有限公司参与招投标项目61次，专利信息9条，此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自：金融界
