金融界2025年1月18日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“半导体工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN222349105U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本申请公开一种半导体工艺腔室及半导体工艺设备，属于半导体技术领域。半导体工艺腔室包括腔室本体、磁场调节机构和导向件，腔室本体内设有基座，磁场调节机构包括承载件和多个磁性件，承载件可转动地设置于腔室本体之外，多个磁性件环绕腔室本体设置，且承载件承载多个磁性件，承载件可带动多个磁性件绕第一轴线转动，第一轴线与基座的承载面相交，导向件沿环绕第一轴线的方向延伸，且导向件与承载件导向配合。半导体工艺设备包括上述的半导体工艺腔室如此多个磁性件最终呈现的磁场为更均匀的环形区域，有利于腔室本体内的磁场更加均匀，进而有利于提高靶材的溅射均匀性，提高晶圆上形成的薄膜的均匀性，有效消除偏心现象。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目992次，知识产权方面有商标信息31条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
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