金融界2025年1月18日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市易天自动化设备股份有限公司申请一项名为“一种基于视觉定位的晶圆对位方法及控制系统”的专利，公开号CN119314928A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种基于视觉定位的晶圆对位方法及控制系统，通过搬运模组将晶圆从卡塞中取出，并搬运至校正平台；通过第一对位件对晶圆进行初对位；通过第二对位件对晶圆进行二次对位；向多个伺服电机发送控制命令；控制伺服电机同时驱动多个对位模组，以将晶圆位移至基准位置；通过搬运模组将晶圆运输至贴附平台；驱动贴附头对晶圆贴附UV膜；通过切刀对晶圆进行仿型切膜；控制搬运模组将晶圆运输至卡塞内。本发明通过第一对位件和第二对位件对晶圆进行初对位和二次对位，能够实现高精度对位，且能够便于后续贴膜和切膜的进行，且能够同时驱动多个伺服电机将晶圆位移至基准位置，能够大幅度地提高晶圆的生产效率。
天眼查资料显示，深圳市易天自动化设备股份有限公司，成立于2007年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本14016.7029万人民币，实缴资本2775.3168万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市易天自动化设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目228次，知识产权方面有商标信息10条，专利信息323条，此外企业还拥有行政许可13个。
本文源自：金融界
