金融界2025年1月20日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“使用蒸汽用于预热或清洁CMP部件”的专利，公开号CN119260582A，申请日期为2020年5月。
专利摘要显示，一种用于化学机械抛光系统的温度控制方法，包括以下步骤：当抛光系统中的部件与抛光系统中的抛光垫分隔开时，将包含蒸汽的气体从孔口引导到部件上以清洁部件或使部件的温度上升到升高的温度。将部件移动到与抛光垫接触，这可以在部件返回到环境温度之前发生。
本文源自：金融界
应用材料公司申请使用蒸汽用于预热或清洁CMP部件专利，使部件温度上升到升高的温度
金融界
2025-01-20 15:16:16
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