金融界2025年1月21日消息，国家知识产权局信息显示，湖南红太阳光电科技有限公司申请一项名为“一种等离子体处理石墨舟的方法”的专利，公开号CN119265537A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种等离子体处理石墨舟的方法，包括以下步骤：步骤S1、将干法清洗后的石墨舟转移到PECVD镀舟机台；步骤S2、将石墨舟放入PECVD炉管内，并在石墨舟中插入电极；步骤S3、将PECVD炉管抽真空并加热；步骤S4、当PECVD炉管内压力和温度达到预设值时，通入工艺气体；步骤S5、向石墨舟上施加射频电源，将工艺气体电离形成等离子体，等离子体与石墨舟表面的氟碳薄膜发生化学反应；步骤S6、抽出PECVD炉管内反应形成的产物，完成石墨舟清洗。本发明具有原理简单、操作便捷且清洗效率高等特点，并且可以实现在线处理石墨舟，从而大大提升了石墨舟的处理效率，提高了时效性。
天眼查资料显示，湖南红太阳光电科技有限公司，成立于2009年，位于长沙市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本65270.9万人民币，实缴资本65270.9万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南红太阳光电科技有限公司共对外投资了1家企业，知识产权方面有商标信息1条，专利信息396条，此外企业还拥有行政许可9个。
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