金融界2025年1月23日消息，国家知识产权局信息显示，荣芯半导体（宁波）有限公司申请一项名为“研磨头及化学机械研磨设备”的专利，公开号CN119328670A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请公开一种研磨头及化学机械研磨设备，该研磨头包括：合围成圆形区域的M个压力腔室，M为大于1的正整数，每个压力腔室用于给待研磨晶圆上位置相对的区域施加压力；M个压力腔室包括N个第一压力腔室和M‑N个第二压力腔室，N为小于M的正整数；第一压力腔室通过第一连通装置与外部的压力控制系统可通断的连通；第二压力腔室通过第二连通装置与第一压力腔室可通断的连通。通过控制第二连通装置的打开或关断，进行分区个数和分区范围的动态调整，从而实现动态分区减少压力控制系统的数量采用不同的分区方式匹配不同晶圆研磨需求，保证研磨产品的良率及可靠性。
天眼查资料显示，荣芯半导体（宁波）有限公司，成立于2021年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41452.2292万人民币，实缴资本38696.418849万人民币。通过天眼查大数据分析，荣芯半导体（宁波）有限公司共对外投资了4家企业，知识产权方面有商标信息15条，专利信息19条。
本文源自：金融界
