金融界2025年1月25日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“测量装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119340243A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请公开了一种测量装置及半导体工艺设备，属于测量技术领域。测量装置应用于半导体工艺腔室，半导体工艺腔室包括旋转机械手和沿旋转机械手的旋转轴的周向均匀设置的至少两个加工工位，每一加工工位均设有一个基座，测量装置包括旋转测量机构，旋转测量机构包括旋转板和第一测量组件，旋转板用于与旋转机械手连接，并用于随旋转机械手在各加工工位之间旋转；第一测量组件设于旋转板上，第一测量组件用于测量每个基座的中心的位置。该方案中，通过旋转机械手带动旋转测量机构在各个加工工位之间旋转，使对各个加工工位的基座的中心的位置进行测量，无需反复拆装测量装置，可简化测量操作和减小或消除安装误差，有利于提高测量精度和准确性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1000次，知识产权方面有商标信息36条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
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