金融界2025年1月25日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载机构及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119340233A，申请日期为2023年7月。
专利摘要显示，本申请公开了一种承载机构及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种承载机构，用于承载晶圆，所述承载机构包括：承载组件、升降组件和驱动组件；所述承载组件具有第一凹槽，所述升降组件具有第二凹槽；所述驱动组件设于所述承载组件，且所述驱动组件的驱动端与所述升降组件连接，用于驱动所述升降组件升降；在第一状态下，所述第二凹槽相对于所述第凹槽回缩，以使所述第一凹槽承载所述晶圆；在第二状态下，所述第二凹槽相对于所述第一凹槽伸出，以使所述第二凹槽承载所述晶圆。一种半导体工艺设备，包括上述承载机构。本申请能够解决晶圆与支撑结构接触位置容易残留污染物等问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1000次，知识产权方面有商标信息36条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
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