西湖仪器申请晶圆片冷冻剥离方法专利,剥离效率高

金融界 2025-01-25 09:17:11

金融界2025年1月25日消息,国家知识产权局信息显示,西湖仪器(杭州)技术有限公司申请一项名为“一种晶圆片冷冻剥离方法”的专利,公开号CN119340198A,申请日期为2023年11月。

专利摘要显示,本发明涉及一种晶圆片冷冻剥离方法,其包括以下步骤,在晶锭的端面和/或温控夹具的夹持面涂覆液态的水溶性介质后,水溶性介质在温控夹具的作用下冷却固化,完成晶锭在一对温控夹具之间的固定;移动至少一个温控夹具,直至晶锭的改质层分离,剥离结束后,固态的水溶性介质在温控夹具的作用下加热液化,得到晶圆片和剩余晶锭。本发明具有剥离效率高、节约清洗工序、剥离条件便于控制、裂片风险低、操作简单、适合大规模工业化应用的优点。

天眼查资料显示,西湖仪器(杭州)技术有限公司,成立于2021年,位于杭州市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1299.3576万人民币,实缴资本834.5万人民币。通过天眼查大数据分析,西湖仪器(杭州)技术有限公司参与招投标项目1次,知识产权方面有商标信息11条,专利信息28条,此外企业还拥有行政许可1个。

本文源自:金融界

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