金融界2025年1月27日消息，国家知识产权局信息显示，青岛芯氟新材料科技有限公司申请一项名为“一种干刻蚀制程用耐等离子体型ESCring的制备方法”的专利，公开号CN119350785A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造领域，且公开了一种干刻蚀制程用耐等离子体型ESCring的制备方法，该ESCring制成的原料包括由下述重量份原料制得：1000PFFKM原胶100份，DBPH0.5‑1.5份。本发明将FFKM混炼胶料按照硫化三要素进行模压，制备ESCring胶料的原料选型，配方及加工工艺，解决了材料洁净度问题，其ESCring具备物理机械性能好、优良的压变能好、超强的耐介质性能，优良的洁净度，良好的耐等离子性能广泛用于晶圆干刻蚀制程应用系统密封。本发明具备高耐久性以保护静电吸盘免受高能量等离子体的损害的优点。
天眼查资料显示，青岛芯氟新材料科技有限公司，成立于2023年，位于青岛市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本400万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛芯氟新材料科技有限公司专利信息1条，此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自：金融界
