金融界2025年1月29日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及其工艺尾气分离装置”的专利，公开号CN119367798A，申请日期为2023年7月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体工艺设备的工艺尾气分离装置，用于分离半导体工艺设备的工艺腔室排出的工艺尾气中的非气态副产物，工艺尾气分离装置包括：冷凝组件，其包括冷凝器，冷凝器用于对工艺尾气进行冷凝处理，以使工艺尾气冷凝后分离出非气态副产物；其中，冷凝器包括用于容纳工艺尾气的冷凝腔体；刮板组件，设置于冷凝腔体内，刮板组件用于刮除工艺尾气冷凝后在冷凝腔体内壁面上分离出的非气态副产物，可以避免非气态副产物堆积在冷凝腔体的内壁面，保持工艺尾气排放通道的顺畅，提高工艺尾气分离装置使用的安全性，缩短工艺尾气分离装置的维修周期。本发明还提供了一种半导体工艺设备。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1000次，知识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
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