金融界2025年1月30日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“清洁终点的检测方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119372621A，申请日期为2023年7月。
专利摘要显示，本申请公开一种清洁终点的检测方法及半导体工艺设备，其中检测方法包括：在工艺腔室执行原子层沉积工艺之前形成覆盖所述工艺腔室内部整个表面的信号膜层；在所述工艺腔室达到清洗条件时，向所述工艺腔室通入清洁气体，以执行清洁工艺，生成清洁后的反应气体；检测所述反应气体中所述信号膜层对应的反应物变化信息，根据所述反应物变化信息确定清洁终点。本申请能够及时检测清洁终点，最大限度地避免过度清洁或者清洁不完全的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1000次，知识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
本文源自：金融界
