金融界2025年1月30日消息，国家知识产权局信息显示，新铂科技（东莞）有限公司申请一项名为“一种PVD镀膜设备的等离子体辅助清洗结构及其清洗方法”的专利，公开号CN119372591A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明涉及PVD镀膜领域的一种PVD镀膜设备的等离子体辅助清洗结构及其清洗方法，包括真空腔室，真空腔室内设置有转架、金属靶和磁铁，转架上可挂载若干加工部件，转架电性连接有偏压电源，在清洗的过程中偏压电源可通过转架对加工部件施加负电压，金属靶设置于转架的外围，金属靶连接有磁控电源，金属靶被施加电压后对真空腔室中的气体进行离化产生等离子体，金属靶远离转架的一端设置有磁铁，磁铁用于约束真空腔室中的等离子体，转架的内侧设置有金属圆筒，金属圆筒的轴心与转架的旋滚轴心重合，加工部件与金属圆通之间形成电场结构，真空腔室内的等离子体在电场作用下可以进一步电离从而增强等离子体放电密度。
天眼查资料显示，新铂科技（东莞）有限公司，成立于2020年，位于东莞市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币，实缴资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，新铂科技（东莞）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目6次，专利信息7条，此外企业还拥有行政许可5个。
本文源自：金融界
