金融界2025年1月30日消息，国家知识产权局信息显示，南昌中微半导体设备有限公司申请一项名为“一种气体流量控制阀、气体输送装置及气体供应方法”的专利，公开号CN119374033A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种气体流量控制阀、气体输送装置及气体供应方法，所述气体流量控制阀，包含：第一阀体和第二阀体，第一阀体、第二阀体相对设置且互相平行，二者之间形成反应气体的气流通道；定义第一阀体、第二阀体之间的间距为气体流量控制阀的阀体开度；驱动装置，其为压电陶瓷材质，用于驱动第二阀体朝向或者远离第一阀体运动，通过调节施加在驱动装置的电压实现调节阀体开度；位置传感器，用于检测阀体开度。本发明的优点在于：能够准确检测阀体开度，提高了气体流量控制阀的控制精度和响应速度可以实现1分多路准确地按照目标气体流量比例向反应腔内的不同区域输送相应流量的反应气体。
天眼查资料显示，南昌中微半导体设备有限公司，成立于2017年，位于南昌市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2500万人民币，实缴资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，南昌中微半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目149次，专利信息26条，此外企业还拥有行政许可22个。
本文源自：金融界
