江苏维普光电申请掩膜版条带偏移补偿方法专利,改善因重力影响导致的图形偏移

金融界 2025-01-30 17:18:23

金融界2025年1月30日消息,国家知识产权局信息显示,江苏维普光电科技有限公司申请一项名为“一种掩膜版条带偏移补偿的方法”的专利,公开号CN119375242A,申请日期为2024年10月。

专利摘要显示,本发明公开了一种掩膜版条带偏移补偿的方法,方法的步骤中含有:S01:在扫描完当前条带,步进至下一条带前,依次循环查询前面扫描过的条带,直至查询到的条带有偏移时停止循环返回有偏移的条带的X向偏移值LX和Y向偏移值LY;S02:得到设置的当前条带和下一条带之间的条带重叠区的X值X1和Y值Y1,分别按照公式(1)对X1和LX以及按照公式(2)对Y1和LY做比较,计算差值的绝对值,计算出X偏移参考值LX1和Y偏移参考值LY1;S03:当LX1>设置的X向偏移阈值,则按照公式(3)计算X向偏移距离X距。它改善了因重力影响掩膜版向下产生形变导致的图形偏移,保证图形偏差在可调节的范围内,极大程度上减少了伪缺陷的发生。

天眼查资料显示,江苏维普光电科技有限公司,成立于2016年,位于常州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1131.2217万人民币,实缴资本1131.2217万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏维普光电科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目27次,知识产权方面有商标信息3条,专利信息38条,此外企业还拥有行政许可5个。

本文源自:金融界

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