金融界2025年1月30日消息，国家知识产权局信息显示，江苏科麦特科技发展有限公司申请一项名为“极紫外光刻用掩模防尘系统的制备方法”的专利，公开号CN119376178A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明涉及极紫外光刻用掩模防尘系统的制备方法，包括以下步骤：制备陶瓷框架；制备有机氟聚合物薄膜，测试均匀度；粘合陶瓷框架与有机氟聚合物薄膜；于有机氟聚合物薄膜表面沉积催化剂；石墨烯碳纳米管复合薄膜成型；石墨烯碳纳米管复合薄膜减薄；陶瓷框架下端粘接耐高温橡胶缓冲层；测试强度与气密性。相较于传统方法，本方法制备厚度均匀的大面积薄膜方法简单，且不需要对8～15nm厚的碳纳米管膜进行操作，避免膜破损，成品率高。本发明所制备的掩模防尘系统在波长13.5nm紫外光照射下，透光率为90％以上。相较于传统硝化纤维素、有机氟树脂和多晶硅薄膜，透光率更高，掩模系统成像更清晰。
天眼查资料显示，江苏科麦特科技发展有限公司，成立于2005年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1195.1077万人民币，实缴资本1117.4424万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏科麦特科技发展有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目10次，知识产权方面有商标信息24条，专利信息80条，此外企业还拥有行政许可25个。
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