金融界2025年1月31日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“下电极组件及半导体工艺腔室”的专利，公开号CN119381236A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请公开了一种下电极组件及半导体工艺腔室，属于半导体加工技术领域。下电极组件设置于半导体工艺腔室的腔室主体内，下电极组件包括基座、至少两个转接部和至少两个滤波器，基座设置有加热层，加热层包括至少两个加热区，至少两个转接部与至少两个加热区一一对应；至少两个滤波器与至少两个加热区一一对应，且各滤波器与对应的加热区通过对应的转接部电连接。该方案可有效缩短滤波器与基座之间的距离，以有效降低转接部之间的射频互相耦合的程度并有效避免转接部集中分布进而避免出现单侧集中馈入的情况，以进一步地降低转接部之间射频相互耦合的程度，从而避免出现工艺均匀性较差的情况。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1000次，知识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
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