金融界2025年1月31日消息,国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN119384035A,申请日期为2023年7月。
专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,半导体结构包括衬底,衬底包括隔断区、以及沿第一方向与隔断区相邻的有源区;鳍部,凸立于有源区的衬底上,鳍部沿第一方向延伸;第一支撑结构,位于与隔断区相邻接的有源区的鳍部侧壁上;隔断开口,位于隔断区中且位于沿第一方向的相邻鳍部之间。本发明在形成隔断开口的过程中,在垂直于鳍部的延伸方向上,第一支撑结构能够对鳍部起到支撑作用,降低了在垂直于鳍部的延伸方向上,发生鳍部弯曲、以及相邻鳍部融合的概率,从而提高了鳍部的质量,降低了在后续工艺制程中因鳍部,使得栅极与源漏掺杂层短接的概率,进而提高了半导体结构的性能,也提高了半导体器件的良品率。
天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元,实缴资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目119次,知识产权方面有商标信息146条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可435个。
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