金融界2025年2月3日消息，国家知识产权局信息显示，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司取得一项名为“光罩夹”的专利，授权公告号CN222420809U，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本申请提供一种光罩夹，用于夹取掩模版，包括：把手；两个主夹取臂，所述主夹取臂固定连接在所述把手的第一端，两个所述主夹取臂的间距与掩模版的尺寸适配且两个所述主夹取臂中包括相互贯通的第一气体通道；多个吸盘，设置在所述主夹取臂上，所述吸盘与所述第一气体通道贯通，用于吸取掩模版；电机，与所述第一气体通道连通，用于调节所述第一气体通道中的压力；控制阀，用于控制所述第一气体通道与大气环境的导通或者断开。所述光罩夹避免现有的光罩夹弹簧和卡头老化导致的缺陷以及现有光罩夹的夹取臂张开所需空间过大的问题。
天眼查资料显示，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元，实缴资本244000万美元。通过天眼查大数据分析，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目120次，知识产权方面有商标信息146条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可435个。
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