金融界2025年2月3日消息，国家知识产权局信息显示，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司取得一项名为“一种载物台”的专利，授权公告号CN222421871U，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本申请提供一种载物台，应用于扫描电子显微镜，包括：旋转承载台，所述旋转承载台的第一面用于承载待测晶圆；旋转驱动组件，所述旋转驱动组件与所述旋转承载台的第二面连接，所述旋转驱动组件用于驱动所述旋转承载台旋转；平移驱动组件，所述平移驱动组件与所述旋转承载台的第二面连接，所述平移驱动组件用于驱动所述旋转承载台沿横向或者纵向移动。如此，以通过旋转和平移两种方式移动待测晶圆使得其中的待测位置至被电子束照射，可以减少旋转承载台的可移动距离，在此基础上，可以减少载物台所在的空间，进而可以减少电镜室所占用的空间，进而缩短电镜室抽真空所需的时间，最终实现提高测量关键尺寸的速度。
天眼查资料显示，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元，实缴资本244000万美元。通过天眼查大数据分析，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目120次，知识产权方面有商标信息146条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可435个。
本文源自：金融界
