金融界2025年2月12日消息，国家知识产权局信息显示，赛勒斯新能源科技（苏州）有限公司取得一项名为“一种改善PECVD膜色均匀性的装置”的专利，授权公告号CN222434623U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种改善PECVD膜色均匀性的装置，包括若干个石墨舟叶，若干个石墨舟叶的顶部和底部均等距离间隔安装有多个陶瓷杆，且石墨舟叶套接固定在石墨舟叶上；若干个石墨舟叶组成石墨舟，且石墨舟的底部四角位置均安装有舟脚，所述石墨舟的底部安装有加热板。该实用新型除PECVD机台原有石英管外壁热丝加热外，新增的加热板通过优化的设计和布置，实现了对石墨舟的均匀加热，避免了热点和冷点的形成；温度控制装置可根据实际需要对加热板进行精确的功率调节，保持稳定的温度并快速响应变化；装置结构简单紧凑，易于安装和维护，降低了生产成本和维护成本。
天眼查资料显示，赛勒斯新能源科技（苏州）有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本600万人民币，实缴资本250万人民币。通过天眼查大数据分析，赛勒斯新能源科技（苏州）有限公司专利信息12条，此外企业还拥有行政许可6个。
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