福建省良颐科技取得气体流量控制装置专利,可对晶圆储存装置内进行洁净气体的换气动作

金融界 2025-02-13 21:20:25

金融界2025年2月13日消息,国家知识产权局信息显示,福建省良颐科技有限公司取得一项名为“气体流量控制装置”的专利,授权公告号CN222440558U,申请日期为2024年4月。

专利摘要显示,本实用新型为一种气体流量控制装置,主要包括一晶圆储存装置、一气体输入装置、一供气系统、一气体进气元件、一输入通道、一气体保压通道、一第一均流穿孔、一第一均流件、一第一均匀气体、一气体扩散均流穿孔、气体扩散均流件、扩散均匀气体、第二均流穿孔、一第二均流件、及一第二均匀气体,供气系统可提供洁净气体给予气体输入装置,并依序通过输入通道及气体保压通道而抵达第一均流件,先由第一均流穿孔做第一阶段的洁净气体分散,再由气体扩散均流件将洁净气体进行扩散动作,最后由第二均流穿孔将扩散后的洁净气体往多个方向喷出,以对晶圆储存装置内进行洁净气体的换气动作,且可让洁净气体均匀的散播到每一个地方。

天眼查资料显示,福建省良颐科技有限公司,成立于2023年,位于泉州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币,实缴资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,福建省良颐科技有限公司参与招投标项目2次,专利信息1条。

本文源自:金融界

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