金融界2025年2月22日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市矩阵多元科技有限公司取得一项名为“一种喷淋头结构及等离子蚀刻系统”的专利，授权公告号CN222507529U，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种喷淋头结构及等离子蚀刻系统。喷淋头结构包括安装座和至少一个堵针。安装座具有多个第一通孔，至少一个第一通孔内设有堵针。其中，至少部分堵针具有第二通孔，堵针插入第一通孔的方向为第一方向，第二通孔沿第一方向贯穿堵针。本实用新型的喷淋头结构能够精细化调整通过的气流从而改善使用本实用新型喷淋头结构的等离子蚀刻系统的蚀刻均一性。
天眼查资料显示，深圳市矩阵多元科技有限公司，成立于2016年，位于深圳市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1354.502万人民币，实缴资本1207.7293万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市矩阵多元科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目78次，知识产权方面有商标信息1条，专利信息123条，此外企业还拥有行政许可13个。
本文源自：金融界
