金融界2025年2月22日消息，国家知识产权局信息显示，光晋科技（合肥）有限公司取得一项名为“一种半导体晶圆除尘清洗机”的专利，授权公告号CN222507559U，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本申请涉及一种半导体晶圆除尘清洗机，包括台身，所述台身两个相对的内侧壁转动连接有横杆，横杆外壁共轴固定连接有转动桶和槽轮，台身侧壁贯通设置并转动连接有转动杆，转动杆位于台身内部的一端共轴固定连接有转动盘，转动盘固定连接有拨杆，拨杆与槽轮耦合，台身上方设置有可滑动的滑块，滑块通过连接杆与转动盘转动连接，本方案通过吸盘沿圆周方向固定需要同一清洗液的晶圆后，经过注液盒向集液盒的内腔中注入与其下方晶圆相匹配的清洗液，转动盘转动一圈，槽轮带动转动桶转动一个固定角度，通过连接杆与转动盘转动连接的滑块带动注液管上下运动一次，当放置孔位于注液管正下方时，注液管运动至最低位置对其内部的晶圆清洗。
天眼查资料显示，光晋科技（合肥）有限公司，成立于2016年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本11100万人民币，实缴资本11100万人民币。通过天眼查大数据分析，光晋科技（合肥）有限公司参与招投标项目3次，专利信息19条，此外企业还拥有行政许可11个。
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