金融界2025年2月22日消息，国家知识产权局信息显示，江苏奥崎电气科技有限公司取得一项名为“一种高温陶瓷晶圆加热盘”的专利，授权公告号CN222507546U，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体制造的技术领域，尤其涉及一种高温陶瓷晶圆加热盘。这种高温陶瓷晶圆加热盘至少包括一块表面平滑壁厚均匀的陶瓷基板，陶瓷基板的一面为加热面、另一面为设计有一定路径的电阻带，所述电阻带置于陶瓷基板上设置的路径槽内，路径槽的底部应是经精密加工的平面、其宽度比电阻带宽度大0.2mm，所述路径槽深度是电阻带厚度值加3.0mmm，路径槽内还设有完全覆盖电阻带的陶瓷盖板。这种高温陶瓷晶圆加热盘的发热源为经精密切割成形的高温电阻带，材料为钨或钼，制成的陶瓷晶圆加热盘，这种电阻带是根据加热盘结构及温度场有限元分析后加工成形的，具有使晶圆受热温度高且均匀的优点。
天眼查资料显示，江苏奥崎电气科技有限公司，成立于2013年，位于扬州市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本518万人民币，实缴资本518万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏奥崎电气科技有限公司参与招投标项目5次，知识产权方面有商标信息1条，专利信息31条，此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自：金融界
