金融界2025年2月22日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司取得一项名为“用于处理腔室中的模块化反射加热系统和处理系统”的专利，授权公告号CN222507545U，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，提供了一种用于处理腔室的模块化反射加热系统。该模块化反射加热系统包括：多个连接器；多个灯具，每个灯具连接到该连接器中的至少一个；反射器，该反射器包括：底座；以及反射组件，该反射组件包括第一多个反射部分和第二多个反射部分。该第一多个反射部分和该第二多个反射部分中的每个反射部分连接到该底座，并且该第一多个反射部分和该第二多个反射部分中的每个反射部分被配置为单独地与该底座断开。该模块化反射加热系统进一步包括备用反射部分，该备用反射部分被配置为替换该第一多个反射部分或该第二多个反射部分中的第一反射部分。
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