金融界2025年2月22日消息,国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构的形成方法”的专利,公开号CN119495583A,申请日期为2023年8月。
专利摘要显示,一种半导体结构的形成方法,包括:提供晶圆,所述晶圆包括功能面和非功能面;在所述非功能面上形成第一应力膜层结构;对所述晶圆进行激光退火处理;对所述晶圆进行激光退火处理之后,获取晶圆的翘曲度,判断晶圆是否发生翘曲若所述晶圆发生翘曲,获取晶圆的翘曲情况;根据所述晶圆的翘曲情况,对所述晶圆的非功能面进行离子注入,直至晶圆的翘曲度恢复正常状态。所述方法使得晶圆的翘曲度得到改善。
天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,成立于2002年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本100000万美元,实缴资本100000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目49次,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可225个。
本文源自:金融界