金融界2025年2月22日消息，国家知识产权局信息显示，厦门韫茂科技有限公司申请一项名为“一种批次式等离子体预处理装置”的专利，公开号CN119495546A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明提供了一种批次式等离子体预处理装置，涉及真空镀膜技术领域。包括：至少一组工艺腔室，所述工艺腔室上设置有抽气系统；至少一组等离子体发生系统，所述等离子体发生装置采用电感耦合等离子体、电容耦合等离子体、远程等离子体源中的至少其中一种方式以向所述工艺腔室内输送等离子体；至少一组工艺气体输送系统，所述工艺气体输送系统连接至等离子体发生系统以向所述等离子体发生系统输送工艺气体；所述工艺腔室内设置有物料托盘，所述托盘上放置有单层样品架或者多层样品架。通过本方案可以实现等离子体表面清洗，表面活化，表面缺陷、空位修复等表面处理工艺。
天眼查资料显示，厦门韫茂科技有限公司，成立于2018年，位于厦门市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本538.051265万人民币，实缴资本483.769186万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门韫茂科技有限公司参与招投标项目91次，知识产权方面有商标信息13条，专利信息83条，此外企业还拥有行政许可11个。
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