金融界2025年2月22日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“补液装置和半导体工艺设备”的专利，公开号CN119495591A，申请日期为2023年8月。
专利摘要显示，本发明提供了一种补液装置和半导体工艺设备，涉及半导体技术领域，为解决补液装置中液源在进入工艺腔室前分解不完全的问题而设计。补液装置应用于半导体工艺设备，半导体工艺设备包括点火腔室和工艺腔室，补液装置包括液源输入组件和分解器，分解器具有分解腔，分解腔用于对液源进行分解，分解腔的入口连通于液源输入组件的出口，分解腔的出口用于连通点火腔室的入口，点火腔室的出口连通于半导体工艺设备的工艺腔室的气体入口。本发明提供的补液装置可以提高液源在进入工艺腔室前的分解率。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1007次，知识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
本文源自：金融界
