雅科贝思取得晶圆检测装置专利,提高兼容适配性

金融界 2025-03-10 13:22:14

金融界2025年3月10日消息,国家知识产权局信息显示,雅科贝思精密机电(上海)有限公司取得一项名为“一种晶圆检测装置”的专利,授权公告号CN222562626U,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种晶圆检测装置,涉及晶圆检测技术领域,其包括基座、上层支撑件和下层支撑件,上层支撑件被配置为承托蓝膜晶圆,所述上层支撑件包括蓝膜铁环和上层驱动缸,蓝膜铁环设置有居中让位孔;上层驱动缸的固定端与基座连接,上层驱动缸的活动端与蓝膜铁环连接;所述下层支撑件被配制为承托普通晶圆,下层支撑件包括静电卡盘和下层驱动缸,静电卡盘设置在蓝膜铁环的居中让位孔的位置处;下层驱动缸的固定端与基座连接,下层驱动缸的活动端与静电卡盘连接;其中,蓝膜铁环和静电卡盘设置在不同的高度位置。本实用新型所述的晶圆检测装置具有提高兼容适配性,操作方便以及节约生产成本的效果。

天眼查资料显示,雅科贝思精密机电(上海)有限公司,成立于2009年,位于上海市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本14998.001万人民币,实缴资本625万人民币。通过天眼查大数据分析,雅科贝思精密机电(上海)有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息126条,专利信息105条,此外企业还拥有行政许可101个。

本文源自:金融界

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