3月10日晚间，芯源微发布公告称，持股5%以上的股东沈阳先进制造技术产业有限公司（简称“先进制造”）与北方华创签署了《股份转让协议》，先进制造拟将其持有的1906.50万股股份以88.48元/股的价格（合计约人民币16.87亿元)，转让给北方华创，占总股本的9.49%。
此外，持股5%以上的股东沈阳中科天盛自动化技术有限公司（简称“中科天盛”）拟通过公开征集转让方式协议转让其持有的全部股份1689.98万股，占总股本的8.41%。
芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品以光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备为主，覆盖前道晶圆加工、后道先进封装、化合物半导体等多个领域。
公告披露称，北方华创将积极通过参与公开挂牌竞买等方式继续增持芯源微股份并取得对公司的控制权。
