金融界2025年3月14日消息，国家知识产权局信息显示，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司取得一项名为“尾气排放装置”的专利，授权公告号CN222605438U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种尾气排放装置，装置包括防倒灌管路、冷凝器和控压阀，防倒灌管路用于通过排气管路连接至抽负压装置，冷凝器的进气端用于通过第一管路连接至工艺腔室，冷凝器的出气端通过第二管路连接至防倒灌管路，控压阀设置在第二管路上。如此，本实用新型通过在排气管路和控压阀之间配置防倒灌管路，可以增加对水汽的冷凝效果，减少排气管路中的冷凝水量，且防倒灌管路对冷凝水起到了防倒灌作用，避免冷凝水倒灌入控压阀造成控压阀控压不稳定的情况发生进而也避免了控压阀中产生盐酸导致控压阀被腐蚀的情况发生。并且，防倒灌管路还可以避免异物通过排气管路和第二管路直接掉落至控压阀中而影响控压阀的动作。
天眼查资料显示，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1150000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司参与招投标项目64次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息421条，此外企业还拥有行政许可211个。
本文源自：金融界
